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二手多晶硅长晶炉回收+富阳分子泵回收的公司
发布时间:2024/5/5 12:18:27
发布:shxj365
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技术领域:本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术:图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图,图1-2 中,l为炉筒,2为保温盖,3为保温盖,4为保温材津牛,5为保温罩,6为 加热器,7为水套,8为石英埚,9为导流筒,IO为护盘,12为氩气输 入管,11为分布有孔11-1的环形气体分布器,13为排气口。名称:直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大,另外,现有技术中,从氩气输入管向炉内充入氩气时, 充气气压为1. 3x 103pa,氩气流量为40L/min,因此其氩气消耗量大,生产 成本较高。
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通过对单晶炉热场的计算。以此方法用来预测晶体生长,改善晶体生长技术。数值模拟是当实验的费用太昂贵或无法常规进行时一种非常有用或必不可少的方法。举例来说,对于无经验人员。完整的和细节的结晶过程数值是用来获得廉价的可以形象化展示熔体流动的历史点缺陷和热应力细节。所以数值是一种达到较高生产率和较好满足市场对晶体直径优化设计单晶炉的机械结构,在拉晶过程中以结果设定合理的理论拉晶曲线,可以在实际生产中是完全可以生长出合格的单晶棒。构成新一代高频关电源。采用移相全桥软关(ZVS)及CPU控制技术,提高了电能转换效率,不需要功率因数补偿装置。3,计算机控制系统:采用PLC和上位工业平板电脑PC机。本系统还配置有工作站系统,用一台PC机可同时8台单晶炉,采用RS422高速通讯,光电隔离,可靠性高。(4) 电气硬件设置,本系统的电气柜内布局采用模块化集中管理,各个模块间连接简单,单个模块可以带电维修,电机保护采用空气关和丝结合的方法便于作和维护。同时主要的电气点都能简单的在端子板上查出。整个机箱布局合理,简单。同时带有双色声光报*灯进行提示。